| 使用微机电系统(MEMS)微镜阵列(MMA)的主动扫帚成像系统 |
| US17024436 2020-9-17 发明申请 |
| 2022-3-17 |
| 一种有源成像系统使用MEMS微镜阵列来在成像系统的运动方向上在光学接收器的视场的第一边缘区域内的场景的第一部分上形成和扫描光束。 除了反射镜的倾斜和倾斜控制之外，MMA还可以具有活塞控制，该活塞控制可以用于在聚焦和扫描光束时使衍射损失最小化，提供波前校正或补偿路径长度变化。 MMA可以被划分为多个片段，以独立地形成和扫描多个光束，这些光束可以用于扫描场景的第一部分或不同部分。 所述不同区段可设置有不同波长的反射涂层以提供多光谱成像。 所述不同区段可用于组合多个光源以增加功率或提供多光谱照明。 |
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