| 用于混合相干和光谱光束组合的衍射光学器件的制造方法 |
| US15942173 2018-3-30 发明申请 |
| 2019-10-3 |
| 一种集成光学器件，其组合衍射光学元件(DOE)以提供相干光束的光束组合和光谱光束组合(SBC)光栅以提供非相干光束的光束组合。 该装置包括平面基底和沉积在基底上的反射涂层。 在反射涂层上淀积顶电介质层，并且在顶电介质层上淀积光刻胶层。 在定义DOE的第一方向上在顶电介质层中形成周期性结构，并且在定义SBC光栅的第二方向上在顶电介质层中形成具有凹槽的周期性光栅，其中周期性结构位于第二方向上。 包括沿与周期性光栅的沟道-沟道周期性正交的沟道长度的周期性调制。 |
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