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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

等离子体加工中的空间分辨光发射光谱(OES)

US15648035 2017-7-12 发明申请

2017-11-2

公开了一种用于光发射测量的方法、系统和装置。该装置包括用于通过设置在等离子体处理室的壁处的光学窗口收集等离子体光发射光谱的收集系统。所述光学系统包括反射镜，所述反射镜被配置为横跨所述等离子体处理室扫描多条不重合的光线；和远心耦合器，用于从等离子体收集光信号并将光信号引导到光谱仪，用于测量等离子体光发射光谱。