| 用于激光诱导击穿光谱的运动学路径方法 |
| GB2014417 2020-9-14 发明申请 |
| 2022-3-16 |
| 一种用于组成分析(LIBS)的方法，包括提供具有表面的样品101，以及用控制器沿着沿着表面的振荡路径确定多个等距位置。 所述振荡路径在近似平行于所述表面的平面内的至少一个正交维度上是正弦曲线。 该方法还包括： 对于每个等距位置，沿着振荡路径将烧蚀点移动到每个等距位置， 脉冲能量源113以提供电磁能量束112来烧蚀烧蚀点处的材料(等离子体102)，并且响应于脉冲能量源，用光谱仪117收集发射光谱104。 所述方法还包括分析所述发射光谱以确定所述表面处的组成。 该装置包括振镜系统反射镜110，以扫描样品上的振荡路径中的光束。 |
微信公众号