| 从衬底处理系统的ESC检测衬底的部分松开 |
| US15889625 2018-2-6 发明授权 |
| 2019-3-5 |
| 本发明提供了一种部分解卡检测系统，其包括发光电路，光谱仪和系统控制器。 发光电路被配置为在衬底被静电夹紧到衬底处理系统的静电卡盘时在衬底的区域处发光。 光谱仪被配置为检测从衬底反射的光并基于检测到的光生成第一输出信号。 所述系统控制器被配置为 : 检测所述第一输出信号中的变化； 检测供应到衬底背面的气体的流速的变化； 以及基于第一输出信号的变化和流速的变化，确定是否发生了衬底的部分松开事件。 |
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