| 一种扫描电子显微镜样品台 |
| CN201920412225.6 2019-3-29 实用新型 |
| 2019-12-27 |
| 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜样品台，其不同之处在于：其包括呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。本实用新型利用各放置台面的度数偏差来实现多角度、特定角度的样品观测。 |
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