| 高光谱和时间分辨率的辉光放电光谱测定设备和方法 |
| CN202310485276.2 2023-4-28 发明申请 |
| 2023-10-31 |
| 本发明涉及高光谱和时间分辨率的辉光放电光谱测定设备和方法，该辉光放电光谱测定设备(100)包括辉光放电灯(1)和适于接收由辉光放电等离子体(2)发射的光束(20)的光学发射光谱仪。根据本发明，光学发射光谱仪包括：色散光学部件(7)和中阶梯光栅(8)，被布置并配置为形成光束的二维光谱(26)，二维光谱(26)被色散成多个衍射级(P1，…Pj，…PT)，多个衍射级(P1，…Pj，…PT)沿着第一方向(X)延伸，并且每个衍射级(P1，…Pj，…PT)根据横向于第一方向(X)的第二方向(Y)光谱地延伸；以及像素阵列CMOS传感器(10)，被布置并配置为获取二维光谱(26)作为时间函数。 |
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