| 测厚仪 |
| DE102020212956 2020-10-14 发明授权 |
| 2023-11-2 |
| 一种厚度测量装置，其测量由卡盘工作台保持的工件的厚度。 该厚度测量装置包括多个图像传感器和厚度输出单元，所述多个图像传感器检测由多个衍射光栅在每个波长上分光的光的强度并生成光谱干涉波形，所述厚度输出单元输出来自由多个图像传感器生成的光谱干涉波形的厚度信息。 所述厚度输出单元包括：基准波形记录部，将与多个厚度对应的光谱干涉波形记录为基准波形；以及厚度决定部，将由所述多个图像传感器生成的多个光谱干涉波形与所述基准波形记录部中记录的基准波形进行比较，根据与波形形状中的光谱干涉波形对应的基准波形，决定与各光谱干涉波形对应的厚度。 |
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