| 使用可移动光缆构件的开关模块和包括该开关模块的用于监测等离子体的多通道光谱系统 |
| KR1020210145255 2021-10-28 发明申请 |
| 2023-4-5 |
| 公开了一种使用可移动光线路部件的开关模块和包括该开关模块的用于等离子体监测的多通道分光系统。 在用于将所述室的监测单元的光切换并传输到光谱仪的多通道分光系统中使用的切换模块包括连接到所述室的监测单元的第一光线路部件以及与所述第一光线路部件间隔开布置的第二光线路部件。 这里，当第二光线部件移动时，第一光线部件被选择性地布置成与第二光线部件相对，并且面向第二光线部件的第一光线部件的光路匹配，并且在腔室中产生的光通过相应的监测单元、连接到监测单元的第一光线部件以及第二光线部件传输到光谱仪。 |
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