| 具有改进的EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜 |
| EP17205782 2017-12-7 发明申请 |
| 2019-6-12 |
| 一种使用透射带电粒子显微镜的方法，包括 : -样品保持器，用于保持样品； -用于产生带电粒子束的源； -照明器，用于引导所述光束以照射所述样品； -成像系统，用于接收通过所述样品透射的带电粒子的通量并将其引导到感测装置上； -控制器，用于控制显微镜的至少一些操作方面，在该方法中，传感装置被选择为EELS/EFTEM模块，包括 : -入口平面； -图像平面，其中在EELS模式中形成EELS光谱，并且在EFTEM模式中形成EFTEM图像； -在所述入口平面和图像平面之间的狭缝平面，其中在EFTEM模式中形成能量分散焦点； -分散装置，位于所述入射面和狭缝面之间，用于将入射光束分散成具有相关的分散方向的能量分散光束； -在所述分散装置和狭缝平面之间的第一系列四极； -在所述狭缝平面和像平面之间的第二系列四极子， 所述分散装置和四极子沿光轴布置， 借此， 对于其中所述光轴沿Z布置的笛卡儿坐标系(X，Y，Z)， 所述色散方向定义为平行于X， 包括以下步骤 : -在所述第一四极串联中，激励一个或多个四极，以便将离开所述分散装置的离轴非色散YZ射线偏转到与所述光轴平行的路径上，从所述狭缝平面到所述像平面； -在所述第二四极串联中，激励 : (a)单个四极； 或(b)一对相邻的四极子，以便将所述能量分散的光束聚焦到所述像平面上。 |
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