| 基于马赫曾德尔干涉的拉曼光谱仪芯片 |
| CN202210435806.8 2022-4-24 发明申请 |
| 2023-10-31 |
| 本发明提供一种基于马赫曾德尔干涉的拉曼光谱仪芯片，通过使用马赫曾德尔干涉原理并结合第一至第四定向耦合器的两次反射以及其的排布方式实现对输入光方向的360°转折并使其经过不同长度的光程实现干涉，不需要使用180°弯曲波导，可有效减小芯片体积，降低成本；另外，将基于马赫曾德尔干涉的光谱仪单元上下并排设置，对应可使图像传感器芯片设置为一维阵列，以提高信噪比并降低成本；再者，通过将复合抛物面聚光镜设置于基于马赫曾德尔干涉的光谱仪芯片侧端面，端面耦合没有偏振选择性，并通过透镜的聚光效果，光斑大小与耦入结构大小匹配，使光全部聚焦在芯片侧面进入光谱仪芯片，光斑通过透镜全部进入芯片，大大提高了光的耦合效率。 |
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