| 使用反射透镜的激光诱导击穿光谱系统 |
| KR1020200162923 2020-11-27 发明申请 |
| 2022-6-3 |
| 本发明提供一种在光谱学系统中使用激光诱导光谱学(LIBS)和光谱学向样品S照射激光的光源100； 第一反射镜210位于被照射的激光在光源部分100中移动的路径中，并且改变激光的入射路径； 光学器件200，包括第二反射镜220和位于改变的入射路径上的反射物镜250； 和分光镜300； 并且当来自光源100的照射激光通过光学部200照射到样品S中时， 蚀刻样品S以产生等离子体， 产生的等离子体通过反射物镜250到达第二反射镜220并移动到光谱仪300，光谱仪300涉及分析光学部200中反射的等离子体以收集LIBS信息的系统。 |
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