| 原子力显微镜的亚谐振抽头模式中的反馈校正 |
| US16481759 2018-1-30 发明申请 |
| 2019-12-26 |
| 一种在原子力显微镜中执行亚谐振分接的方法，包括使设置在样品上方的探针在平行于由样品限定的水平面的方向上平移，并在垂直于样品的垂直方向上振荡。 围绕平衡线的水平面，所述平衡线与所述水平面分开一个垂直偏移。 结果，探针重复地敲击样品的表面。 每个抽头从探针在表面上的第一次接触开始，随后由样品施加在探针上的力逐渐增加，直到达到峰值力。 通过至少部分地依赖于除了峰值力之外的特征作为控制垂直偏移的基础来控制垂直偏移。 |
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