| 使用光谱计量法的图案化膜叠层的带隙测量 |
| US17856660 2022-7-1 发明申请 |
| 2022-11-3 |
| 一种光谱计量系统，包括光谱计量工具和控制器。 所述控制器生成包括两个或更多层的多层光栅的模型，所述模型包括指示所述多层光栅的测试层的几何形状的几何参数和指示所述测试层的色散的色散参数。 所述控制器还从所述光谱计量工具接收对应于所述建模的多层光栅的制造的多层光栅的光谱信号。 所述控制器还确定所述建模的多层光栅的所述一个或多个参数的值，所述一个或多个参数提供对应于所述选定容差内的所述测量的光谱信号的模拟光谱信号。 所述控制器还基于所述制造结构的所述测试层的所述一个或多个参数的所述确定值来预测所述制造的多层光栅的所述测试层的带隙。 |
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