| 深紫外光调制反射光谱仪及其应用 |
| WOCN22087066 2022-4-15 发明申请 |
| 2023-10-19 |
| 本公开提供一种深紫外光调制反射光谱仪，包括：激光泵浦模块，至少包括第一激光器；探照光模块，沿光路方向依次包括宽谱光源、入射单色仪、探照光斩波器；真空样品腔模块，沿泵浦光路方向依次包括第一激光器入射窗口、泵浦光斩波器、透镜组、待测样品，沿探照光路方向依次包括探照光入射窗口、第一平面反射镜、第一抛物面反射镜、待测样品、第二抛物面反射镜、第二平面反射镜、反射光出射窗口；信号采集模块，沿光路方向依次包括出射单色仪、探测器、锁相放大器和信号处理装置，用于采集反射光信号并进行分析处理。本公开的光调制反射光谱仪适用于深紫外波段，可广泛用于超宽禁带半导体材料的电子能带结构研究。 |
微信公众号