| 用于构建小型化光谱仪的组件及其使用方法 |
| EP22167959 2022-4-12 发明申请 |
| 2023-10-18 |
| 本发明涉及一种用于构建微型光谱仪(2)的部件(1)，其包括在x、y和z方向上延伸的基底(3)，该基底具有在x-y平面中的顶表面(4)，而在基底(3)内沿x方向在顶表面(4)下方形成光波导(5)，该光波导到达顶表面(4)中，该顶表面在基底(3)的y-z平面处的相对的前表面和后表面处具有两个端面(6)。 所述部件(1)包括在顶表面(4)上的至少一个第一光电检测器(7)，所述第一光电检测器与在高度上堆叠的波导(5)光耦合。 其包括第一下部电极(8)和在z方向上与第一下部电极(8)间隔开的对应的第一上部电极(9)。 两个电极(8，9)都是导电的，并且在与波导(5)交叉的y方向上是细长的。 第一下部电极(8)具有暴露于波导(5)的有源区域(10)，其长度(1)小于待测量的最短波长(λ)，优选短于待测量的最短波长(λ)的四分之一。 第一量子点层(11)布置在所述第一下部电极(8)和所述第一上部电极(9)之间，所述第一量子点层具有小于2微米、优选小于0.5微米的高度(h)。 本发明还涉及一种使用这种部件(1)作为光谱仪(2)的方法。 |
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