| 菲涅尔光栅微透镜阵列、光谱仪及光谱共焦面型测量系统 |
| CN202111078906.1 2021-9-15 发明申请 |
| 2021-12-24 |
| 本发明公开了一种菲涅尔光栅微透镜阵列、光谱仪及光谱共焦面型测量系统，其中菲涅尔光栅微透镜阵列是由聚合物PDMS压制形成的透镜模块，其中该透镜模块的一面为阵列排列的菲涅尔微透镜结构，另一面为闪耀光栅结构。菲涅尔光栅光谱仪，包括阵列式光源狭缝模块、面阵CCD和菲涅尔光栅微透镜阵列，阵列式光源狭缝模块中阵列排列的光源狭缝之间的间距与阵列排列的菲涅尔微透镜结构中各个菲涅尔微透镜的中心之间的间距相等。光谱共焦面型测量系统包括光源、光纤耦合器、光谱共焦测头和菲涅尔光栅光谱仪。本发明提出的光谱仪及光谱共焦面型测量系统，体积小、重量轻、测量维度适应性强，加工成本低。 |
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