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产业专利数据

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2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

单像素微型光谱仪及其制造方法

WOKR23004339 2023-3-31 发明申请

2023-10-5

本发明涉及一种单像素微型光谱仪及其制造方法，更具体地涉及一种单像素微型光谱仪及其制造方法，该单像素微型光谱仪包括：MEMS光栅，其根据扫描角度(θ)移动；以及准直和成像光学系统。所述MEMS光栅包括：衬底，其上形成有光入口狭缝、衍射光栅单元和驱动单元，所述驱动单元根据所述扫描角度(θ)将运动赋予所述衍射光栅单元；以及单像素光接收单元。