| 高分辨率X射线光谱仪表面材料分析 |
| TW111104882 2022-2-10 发明申请 |
| 2023-1-16 |
| 一种利用评估系统对样品的感兴趣区域进行射线光谱表面材料分析的方法该评估系统包括扫描电子显微镜()柱和射线侦测器该方法包括：识别预期在感兴趣区域内的元素；基于经识别的元素为由柱产生的带电粒子束选择著陆能量；用设定为选定著陆能量的带电粒子束扫描感兴趣区域；侦测带电粒子束扫描感兴趣区域时产生的射线；以及基于侦测到的射线产生经扫描的感兴趣区域的二维影像。; -()-. : ; ; ; -; -- |
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