| 红外探测器 |
| WOAT23060106 2023-3-30 发明申请 |
| 2023-10-5 |
| 一种红外检测器(1)，包括：具有框架(5)和由所述框架(5)支撑的膜(6)的纳米机电谐振器(3)，其中所述膜(6)包括吸收区域(7)，其中所述检测器(1)包括用于检测所述膜(6)的谐振频率的频率变化的电读出装置(4)，其中所述电读出装置(4)经由电触点(11、12)电连接到所述膜(6)，其中所述膜(6)包括在所述吸收区域(7)和所述框架(5)之间的一个或多个导电连接(8)， 其中所述一个或多个导电连接件(8)的总横截面大于10μm2，以及包括所述红外检测器(1)的傅里叶变换红外光谱仪、所述红外检测器(1)在红外光谱学中的用途和用于执行红外光谱学的方法。 |
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