| 基于微透镜阵列的光谱共焦测距方法及系统 |
| CN202310788649.3 2023-6-29 发明申请 |
| 2023-9-29 |
| 本发明涉及光谱共焦测距技术领域，具体提供一种基于微透镜阵列的光谱共焦测距方法及系统，主要是将微透镜阵列应用于光谱共焦测距系统，利用微透镜阵列将平行的复色光分成多个子光束，每个子光束经过准直和色散处理后照射在被测物表面，每个子光束中某一波长的光会聚焦在被测物表面，该光沿原路反射进入光谱仪，可以同时测量被测物多个点的高度信息，被测物仅需要移动小范围运动即可完成整体表面形貌的测量，实现了高速、高精度光谱共焦测距。 |
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