| 圆盘扫描显微镜 |
| JP2018112877 2018-6-13 发明申请 |
| 2019-12-19 |
| [A]进行良好的超分辨率观察, 正常观察的超分辨率观察可以通过在盘扫描显微镜100为[A], 用照明光点S的照明光照射样品, 物镜12和从取样S产生的光, 用扫描光学系统60扫描照明光, 形成斑点图像, 在投影放大率中间,由可变倍率光学系统30的多个不同的光学图像形成的斑点图像的整个组合被改变, 成像装置15, 以及中继光学系统35, 包括 : 扫描光学系统60, 42和共焦盘, 以及52,52与盘42结合的共焦盘,形成光斑图像65和转塔位置切换装置,其中,微透镜,形成在共焦盘42的位置处的光斑图像,其特征在于,光斑减小。 图1[附图] |