| 光栅分光式同时多点激光诱导击穿光谱测量系统及方法 |
| CN201910065990.X 2019-1-24 发明申请 |
| 2019-3-26 |
| 本发明公开了一种光栅分光式同时多点激光诱导击穿光谱测量系统及方法，该系统包括高能脉冲激光发射器、衍射光栅、中孔反射镜、第一球面透镜、第二球面透镜、光纤束、光谱仪和控制装置，衍射光栅、中孔反射镜和第一球面透镜依次设置在高能脉冲激光发射器发射的激光的光路上，待测样品表面形成的等离子体阵列发光的光路上依次设置有第一球面透镜、中孔反射镜、第二球面透镜、光纤束和光谱仪，控制装置控制高能脉冲激光发射器和光谱仪之间的时间同步及待测样品的空间位置。本发明对阵列焦斑位置等离子体发射光谱进行同时分析，实现了单次多点的激光诱导击穿光谱测量，同时本发明是一种紧凑型同时多点激光诱导击穿光谱测量系统。 |
微信公众号