| 一种面阵光谱共焦测量系统及方法 |
| CN202211291949.2 2022-10-20 发明申请 |
| 2023-3-7 |
| 本发明涉及一种面阵光谱共焦测量系统及方法。本发明的面阵光谱共焦测量系统包括 : 光源模块、色散模块、提取模块和探测模块。其中，探测模块将待探测光束分为两束光，并在其中一束光的光路上加载一线性滤光片，该线性滤光片透过率与波长呈线性关系，采用两个面阵探测器分别采集两束光的强度，由两束光的强度得到线性滤光片的透过率，根据其透过率与波长的线性关系得到该光束的波长，并利用光的色散关系由波长得到被测物表面的高度信息，解决了现有技术中采用面光谱仪所引起的非线性的问题。 |
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