| 高性能检查扫描电子显微镜装置及其操作方法 |
| US16033987 2018-7-12 发明授权 |
| 2019-12-10 |
| 描述了一种带电粒子束装置。 带电粒子束装置包括 : 带电粒子束源，其包括冷场发射器；在带电粒子束源和磁性聚光镜之间的束限制孔； 该聚光透镜包括第一内极片和第一外极片， 其中带电粒子源和第一内极片之间的第一轴向距离等于或小于约20mm， 加速部分，用于将带电粒子束加速到10keV或更高的能量； 一种磁性物镜，包括第二内极片和第二外极片，第二内极片和样品表面之间的第三轴向距离等于或小于约20mm，以及减速部分。 |
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