| 多波段、多极化等离激元光电探测器及制造方法 |
| EP22465517 2022-3-17 发明申请 |
| 2023-9-20 |
| 本公开提出了基于金属叉指光栅的金属-半导体-金属肖特基等离子体光电检测器的创新设计概念，其能够通过使用具有两个电极的单个装置来检测紫外、可见、近和中红外光谱中的多波段、多极化电磁辐射，所述两个电极均位于半导体装置的同一表面上，因此是真正的平面半导体技术。 创新概念表明，即使表面等离子体增强的光敏装置是波长和偏振选择性的，也可以通过使用单装置双电极等离子体肖特基光电检测器来检测具有不同偏振的电磁辐射的两个或更多个窄带，其中两个金属触点都放置在接收辐射的装置表面上。 将通过通用的金属-半导体-金属器件呈现新颖的设计概念和相关联的制造技术，然后将描述具体的示例。 |
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