| 一种宽光谱自参考干涉对准系统 |
| CN202210259708.3 2022-3-16 发明申请 |
| 2022-6-14 |
| 本发明公开了一种宽光谱自参考干涉对准系统，包括：宽光谱光源，用以提供照明光束；透镜系统，用以收集照射在对准标记后形成的衍射光斑，并将衍射光斑传递至自参考干涉光学模块；自参考干涉光学模块，对所述衍射光斑进行分光及像旋转处理，以使对应的正、负级次衍射光斑像重叠；信号探测模块，用于探测所述重叠后的正、负级次衍射光斑的光谱信息；信号分析模块，用于通过解出光谱信号的相位来获取对准位置的信息。与现有的自参考干涉对准系统相比，本发明可以降低对对准系统于光源稳定性的要求以及信号探测部分的探测频率的要求。 |
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