| 软X射线共振非弹性散射光谱仪 |
| CN202310630447.6 2023-5-30 发明申请 |
| 2023-9-19 |
| 本发明涉及一种软X射线共振非弹性散射光谱仪，包括：光阑组件，包括光阑腔；减振支撑座；光栅组件，包括光栅座和固定在光栅座上的光栅单色器，光栅座滑设在减振支撑座上；出臂组件，包括出臂桁架、安装座和CCD探测器，出臂桁架的一端与光栅座铰接，安装座与出臂桁架滑动连接；CCD探测器固定在安装座上；升降支架，滑设在减振支撑座上；安装座与升降支架滑动连接；光栅单色器的入口和出口分别与光阑腔的出口和CCD探测器的入口连通。本发明的软X射线共振非弹性散射光谱仪，通过光栅座、升降支架在减振支撑座的水平移动以及安装座在升降支架的竖直移动，可以调节物距、相距、光栅入射角和衍射角至满足聚焦要求，从而实现RIXS测量。 |
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