| 高分辨率扫描电镜 |
| KR1020180075608 2018-6-29 发明授权 |
| 2019-10-1 |
| 提供了一种扫描电子显微镜，用于通过使用布置在真空区域中的电子束源和从光学单元发射的电子束来检查非真空区域的样品表面。 提供了一种用于真空室的电子枪，其通过操作阻挡单元在真空区域中保持真空来防止电子枪的损坏。 另外，真空区域2被划分1为室，第一电子枪室和第二电子枪室，并且每个室通过孔口2连接以具有真空度。 也是可能的。 提供了一种电子束扫描装置，通过根据需要改变电子束的扫描方向来防止对样品的损坏。 |
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