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产业专利数据

可变孔径掩模

WOUS18045852 2018-8-8 发明申请

2019-2-14

在一些实施例中，半导体计量工具的收集系统包括 : 卡盘，用于支撑从其反射光束的目标；以及孔径掩模，用于为反射光束提供可调节孔径。孔径掩模包括多个位置可调的不透明板。收集系统还包括用于接收反射光束的光谱仪。孔径掩模沿着光轴位于卡盘和光谱仪之间。