| 扫描电镜样品的定位装置 |
| CN201910534793.8 2019-6-20 发明申请 |
| 2019-9-3 |
| 本发明提供一种扫描电镜样品的定位装置，包括：T形台和与T形台配合插接的样品架，T形台包括平面支撑件和第一柱体，平面支撑件的上表面为多边形，第一柱体的顶端与平面支撑件底部连接，第一柱体用于支撑平面支撑件，平面支撑件的上表面用于放置样品；样品架的上表面设置有多个多边形凹槽，用于插接平面支撑件，每个凹槽中心设置有与第一柱体匹配的第一柱孔，第一柱孔用于插接T形台的第一柱体，平面支撑件被包含于凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数。本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，可以对放置有样品的T形台进行恢复定位，以实现对同一视域重复观测。 |
微信公众号