| 一种基于多级谐振腔结构的光谱滤波器及光谱仪 |
| CN202310810481.1 2023-7-4 发明申请 |
| 2023-8-4 |
| 本发明涉及光谱检测技术领域,公开了一种基于多级谐振腔结构的光谱滤波器及光谱仪,其在使用时被配置在计算式光谱仪中,所述光谱滤波器至少具有一路光通道,在其中一路光通道上至少设有n+1个线性排列的反射镜,n∈N且n≥2;所述反射镜具有一定的反射率,反射率在5%至50%;相邻两个反射镜之间构成一个谐振腔,n+1个线性排列的反射镜构成n级谐振腔;每个谐振腔的腔长在20μm至2000μm之间, 其中至少有两个谐振腔的腔长相异或者至少有两个反射镜的反射率相异,以使n级谐振腔能产生在频域上高随机的透射谱。 |