| 一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法 |
| CN202110920408.0 2021-8-11 发明申请 |
| 2021-12-10 |
| 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元中设置有第一透镜和物镜，光线经过第一透镜汇聚在物镜的后焦面上，在物镜的作用下形成多束不同入射角的光束照射在待测样品表面；光谱采集模块包括多象限分析器、第二透镜和成像光谱仪，入射光线照射在待测样品表面后被待测样品反射，然后依次经过物镜、多象限分析器和第二透镜，最终在成像光谱仪中获得角分辨光谱，利用该角分辨光谱计算获得到达成像光谱仪反射光的偏振参数，进而获得待测样品的厚度和光学常数。通过本发明，解决现有技术难以解决的超薄膜高精度与高速在线测量的技术问题。 |
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