| 超薄微型光谱仪及其制造方法 |
| KR1020220024593 2022-2-24 发明申请 |
| 2023-8-31 |
| 本公开涉及一种超薄微型光谱仪及其制造方法，更具体地，涉及一种超薄微型光谱仪，包括：透镜部，包括：凸透镜； 以及后反射光栅层，其形成在所述凸透镜的后表面上，并且在所述后反射光栅层的同一表面上布置有反射式衍射光栅和第一平面反射器； 基板层，其设置成与所述透镜部分隔开，并且其上形成有光入射微狭缝； 第二平面反射器，其形成在所述基板层上； 以及互补金属氧化物半导体(CMOS)传感器，由透镜部分反射的光聚焦在其上，以及制造该互补金属氧化物半导体传感器的方法。 |
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