| 用于光谱成像的狭缝匀化器 |
| EP18186243 2018-7-30 发明申请 |
| 2020-2-5 |
| 分光成像器(100)可以使用入射望远镜(10)将物体(O1)至少在横缝方向(X)上空间成像到分光计(20)的物理缝(Se)上。 分光计(20)可以包括狭缝均化器(24)，例如棒状透镜，其被配置为将在横缝方向(X)上的孔径光阑(AS)空间成像为虚拟狭缝图像(Ih)。 沿着光谱轴(X')光谱分辨的检测图像(Id)的形成可以包括在检测器平面(Pd)上至少在横缝方向(X)上对虚拟狭缝图像(Ih)进行空间成像。 这可以实现光谱仪狭缝的更均匀的照明，并提高测量精度和再现性。 |
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