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原子力显微镜及原子力显微镜的位置设定方法
JP2017250994 2017-12-27 发明申请
2019-7-18
[A]可以在测量开始之前设置对准自动设置原子力显微镜和原子力显微镜的位置。 所述第一组成像方向[a]1, 悬臂13, 样品基座和照相机在垂直方向上对激光进行成像,第一方向不同于悬臂的第一组成像方向,样品基座和照相机具有成像激光侧。 侧照相机基于由照相机在垂直方向上拍摄的图像,并且样品台的位置被自动地设置到悬臂。 图1[附图]
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