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快速精确穆勒矩阵红外椭偏光谱仪

US17803029 2022-1-18 发明申请

2023-6-15

一种在红外光谱范围(0.75μm至1000μm)中工作的椭偏仪、偏振仪等系统，其利用可调谐量子级联激光器(QCL)源结合抖动能力以减小散斑和驻波效应，双旋转光学元件，单点检测器，以及减小测量表面处的探测光束尺寸的可选装置和用于锁定检测的可选斩波器。