| 垂直耦合芯片式拉曼光谱仪 |
| CN202111564820.X 2021-12-20 发明申请 |
| 2023-6-23 |
| 本发明提供一种垂直耦合芯片式拉曼光谱仪，包括：由外向内依次嵌套的多个拉曼光谱仪单元形成的拉曼光谱仪芯片和图像传感器芯片封装在一起的封装体，以及与封装体机械连接的复合抛物面聚光镜及透镜；拉曼光谱仪单元包括耦入光栅，与耦入光栅的一端依次连接的第一楔形波导、第一直波导、第二楔形波导及第一平面反射光栅，与耦入光栅的另一端依次连接的第三楔形波导、弯曲波导、第二直波导、第四楔形波导及第二平面反射光栅。通过使用耦入光栅将信号光分为TE及TM偏振光，提高光的收集效率；另外，通过对平面反射光栅进行参数的不同设计，再结合图像传感器芯片的翻转变换处理可根据实际需要选择性地测量光谱波段，避免数据冗余同时还提高信噪比。 |
微信公众号