| 一种基于无序狭缝结构的高分辨率片上集成计算光谱仪 |
| CN202310670030.2 2023-6-7 发明申请 |
| 2023-8-22 |
| 本发明提供一种基于无序狭缝结构的高分辨率片上集成计算光谱仪，包括输入波导模块、多模散射波导和输出波导阵列沿光照方向按顺序依次连接设置，输入波导模块内设有狭缝聚焦透镜组件和电热调光开关组件，多模散射波导内设有散射无序狭缝组，散射无序狭缝组由多条平行排列、宽度一致、长度在设定范围内随机、间距相同的散射狭缝组成，多模散射波导长度＞10倍散射无序狭缝组的宽度，多模散射波导的宽度＞高分辨率片上集成计算光谱仪工作波长的一倍或多倍，输出波导阵列内设有由多个单模光波导组成的单模光波导阵列。本发明的有益效果为：能够缩小尺寸，能够实现少数电极控制对光输出位置的精准调控，能够在有限的尺寸内提高光波的散射无序度。 |
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