| 硅基片上傅里叶变换光谱仪及光谱重构方法 |
| WOCN21079679 2021-3-9 发明申请 |
| 2022-2-3 |
| 一种硅基片上傅里叶变换光谱仪及光谱重构方法，光谱仪包括波导输入耦合器(101)、级联光开关(102)、非等臂亚波长光栅(SWG)波导对(103)和锗硅探测器(104)，级联光开关(102)通过非等臂SWG波导对(103)连接。通过调节级联光开关(102)状态选通光路，构成具有不同光程差的一系列非等臂马赫-增德尔干涉器(MZI)阵列，实现基于空间外差相干的傅里叶变换光谱仪，并利用压缩感知算法对光谱进行重构。相比于传统无源MZI阵列结构，可以有效降低芯片尺寸、提高采样点数；非等臂SWG波导对(103)可以有效提高芯片温度稳定性、扩大工作带宽。能够满足傅里叶变换光谱仪对于小型化、便携化的应用需求，并能够解决现有硅基片上光谱仪普遍对温度敏感的问题。 |
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