| 一种微波屏蔽结构和一种半导体器件的加工设备 |
| CN202223346448.8 2022-12-13 实用新型 |
| 2023-8-18 |
| 本实用新型公开了一种微波屏蔽结构和一种半导体器件的加工设备。该微波屏蔽结构包括金属屏蔽网，其中，所述金属屏蔽网设置于反应腔室内的光源下方的开口处，其外部覆盖支撑板，其特征在于，所述支撑板具有调光结构，用以调整经过所述微波屏蔽结构的光线的光谱和/或光路。通过采用上述微波屏蔽结构，对光路系统进行调整，不仅增强了滤光功能，加大了紫外线的透过率并减少了其他波段的光线的干扰，而且能够获得更均匀的紫外光线的光谱分布。 |
微信公众号