| 光学干涉断层摄影仪 |
| WOJP22046265 2022-12-15 发明申请 |
| 2023-8-17 |
| 该光学干涉断层摄影装置例如包括：用于输出光的光源单元，该光源单元能够改变输出光的波长； 分支部，其将来自所述光源部的光光谱地分离为照射光和参照光； 参考光学系统，用于传送来自分路单元的参考光； 照射光学系统，使来自所述分支部的所述照射光透过而照射对象物，并使从所述对象物反射的所述照射光的反射光透过； 干涉部，生成根据来自所述照射光学系统的反射光和来自所述参照光学系统的参照光而得到的干涉光； 干涉光输出单元，用于输出所述干涉光； 以及用作分路单元和干涉单元的耦合元件，参考光学系统、耦合元件和干涉光输出单元由形成在衬底上并集成在衬底上的波导构成。 |
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