| 用于光谱仪的等离子体源室 |
| GB1905069 2019-4-10 发明申请 |
| 2020-10-14 |
| 一种用于光谱仪的等离子体源室，包括用于等离子体源的内室和容纳内室的外室。 外室具有至少一个在第一壁中开口的外部空气入口21和至少一个在第二壁中开口的外部空气出口22。 内腔室和外腔室的壁限定间隔25，以允许第一空气流1通过内腔室和外腔室之间的间隔。 内腔包括至少一个在第一壁中开口的内空气入口23和至少一个在第二壁中开口的内空气出口24，以允许第二空气流2通过内腔。 实现了等离子体源室10的外表面的冷却。 观察器32能够观察等离子体源。 |
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