| 一种高消光比的硅基集成光滤波器件 |
| CN202211419081.X 2022-11-14 发明申请 |
| 2023-5-12 |
| 本发明公开了一种高消光比的硅基集成光滤波器件，所述硅基集成光滤波器件包括位于硅基衬底上的第一亚波长光栅反射镜、第二亚波长光栅反射镜、第一弯曲波导、第二弯曲波导、第一直波导、第二直波导以及环形谐振腔；其中，第一亚波长光栅反射镜与第一弯曲波导相连，第二亚波长光栅反射镜与第二弯曲波导相连；第一弯曲波导与第一直波导相连，第二弯曲波导与第二直波导相连；第一直波导和第二直波导分别位于环形谐振腔的相对两侧。本发明提供的硅基集成光滤波器件通过将环形谐振腔与两个亚波长光栅反射镜结合起来，改变了环形谐振腔的输出光谱，可实现高消光比的滤波特性，同时具有结构紧凑、制作工艺简单、成本低等特点。 |
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