| 一种显微镜检测与激光切割修复模组、方法及装置 |
| CN201910930166.6 2019-9-29 发明申请 |
| 2019-12-17 |
| 本发明公开一种显微镜检测与激光切割修复模组，包括基板、滑动板、承载板、显微镜、相机、激光切割器和驱动装置；基板的一侧板面设有直线轨道，滑动板通过直线轨道与基板构成沿直线的滑动连接；承载板固设于滑动板上，驱动装置固设于基板上，其驱动部与承载板固连；显微镜、相机和激光切割器均固设于承载板上，显微镜的物镜的轴线和激光切割器的发射头的轴线均能够平行于承载板的移动方向；显微镜的物镜与相机的输入端建立光线通道以供相机的成像芯片成像。本发明具有的有益效果：通过将检测和修复合二为一进行系统集成，实现了同台设备同时运行的目的，显著提高了作业效率和作业精度。 |
微信公众号