| 一种窄线宽稳光谱半导体激光器 |
| CN202310575000.3 2023-5-22 发明申请 |
| 2023-8-4 |
| 本发明公开了一种窄线宽稳光谱半导体激光器，属于半导体激光技术领域，解决了现有技术中VBG衍射效率低、中心波长温漂大、泵浦效率低的问题，包括激光整形模块，激光整形模块包括沿光轴方向依次设置的半导体激光单元、快轴准直镜以及慢轴准直镜，慢轴准直镜后端设有倾斜设置的激光反射镜，激光反射镜后端设有倾斜设置的分光镜。本发明采用折叠式外腔反馈结构，通过分光镜将部分小功率激光反射至体布拉格光栅VBG上，实现激光线宽窄化的同时中心波长的温漂小，可靠性高，而且该结构应用于多半导体激光单元的耦合模块中，有效解决多激光单元照射至体布拉格光栅后出现的中心波长温漂现象，从而使激光器泵浦效率高，可靠性高。 |
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