| 一种电子特气分析系统 |
| CN202320110099.5 2023-1-19 实用新型 |
| 2023-8-4 |
| 本实用新型提出一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪；本实用新型检测效率高，准确性好，能快速提供电子特气的分析结果。 |
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