| 一种基于超表面分光的用于三维面型测量的线形光谱共焦系统 |
| CN202210528919.2 2022-5-16 发明申请 |
| 2022-8-9 |
| 本发明公开一种基于超表面分光的用于三维面型测量的线形光谱共焦系统。该系统包括：宽光谱光源，用于提供有一定波长范围的光辐射；超表面分光器件，用于将光辐射源发射的光辐射分成分离的波长；柱面镜组，用于使不同波长的光辐射聚焦在被测物体表面深度方向的不同高度上，且在垂直于子午面方向上，不改变辐射光的传播方向；光辐射处理单元，在镜面反射方向上接受从被测量物体表面反射的光辐射，并引导至所述检测器；探测器，用于接收从所测量的物体反射的辐射。本发明使用超表面实现色散并证明其可行性，可以较棱镜，光栅等更大程度地实现光谱分离，在面形测量时可以测量更大的深度范围，不同深度间的精度也更均匀。 |
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