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产业专利数据

共焦内显微镜物镜非接触式轴向分辨率测量装置

KR1020190065391 2019-6-3 发明授权

2019-12-17

提供了一种用于共焦公差显微镜的物镜的非接触式垂直分辨率测量装置，用于通过测量垂直度来测量物镜的垂直分辨率。基于检测光量Z，IC的传感器的变化数据的物镜分辨率。