| 干涉仪中的光束引导 |
| EP18158804 2018-2-27 发明申请 |
| 2019-8-28 |
| 本发明涉及一种用于确定光路长度变化的参考干涉仪(1)， 尤其是干涉臂(2)中的相对光路长度变化， 包括分束器(3)和激光光源(4)， 其中分束器(3)设计成这样， 激光光源(4)的光束(5)通过在第一侧面上的全内反射， 尤其是上表面(61)， 以及第二面， 尤其是下侧(62)， 分束器(3)的导向， 其特征在于，分束器(3)是光路上游的棱镜(16')， 其中，分束器(1)的入射光束(5)可以偏转，和/或其特征在于，分束器(3)在光束路径(16“)中被安装为棱镜，利用该棱镜可以偏转来自分束器(3)的离开光束(5')。 此外，本发明涉及一种干涉仪，光谱仪和基于本发明的所述参考干涉仪确定光路长度变化的方法。 |
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